微管密度
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TIAWBS 010-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法
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TIAWBS 012-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法
碳化硅单晶
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表面质量
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