资源简介
摘要:本文件规定了硅多晶断面夹层化学腐蚀检验的方法、步骤及结果判定规则。本文件适用于硅多晶材料的质量检测和评估。
Title: Inspection Method for Chemical Etching of Polysilicon Cross-section Layers
中国标准分类号:H53
国际标准分类号:29.045
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拓展解读
在遵循“GBT 4061-1983 硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法”标准的前提下,通过优化流程和资源利用,可以有效降低生产成本并提高效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。