资源简介
摘要:本文件规定了硅多晶中基硼含量的真空区熔检验方法,包括试样的制备、设备要求、操作步骤及结果计算。本文件适用于硅多晶材料中基硼含量的定量分析。
Title:Inspection Method for Basal Boron in Polycrystalline Silicon by Vacuum Zone Melting
中国标准分类号:H23
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
根据GB/T 4060-2007《硅多晶真空区熔基硼检验方法》的要求,为了在保证检测质量的同时降低操作成本并提高效率,以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。