资源简介
摘要:本文件规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类与标记、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于平面显示领域中采用磁控溅射工艺制备薄膜所使用的高纯铜旋转管靶。
Title:Plane Display High-Purity Copper Rotating Tubular Targets
中国标准分类号:H41
国际标准分类号:77.120.20
封面预览
拓展解读
在遵循 GBT 39158-2020 平面显示用高纯铜旋转管靶 标准的前提下,通过优化核心业务环节,可以在保证产品质量的同时提升灵活性并降低成本。