溅射靶材用高纯钌粉制备技术研究及进展
溅射靶材
高纯钌粉
制备技术

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溅射靶材概述
溅射靶材
材料科学
薄膜沉积

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XBT 512-2020 镝、铽金属靶材
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铽金属靶材
稀土金属

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YST 1358-2020 磁记录用铁钴钽合金溅射靶材
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铁钴钽合金
溅射靶材

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溅射靶材
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YST 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
溅射靶材
背板结合质量
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YST 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材
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YST 935-2013 电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
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溅射靶材
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GBT 23611-2023 金及金合金靶材
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GBT 26292-2010 金锗蒸发料
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GBT 26307-2010 银靶
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溅射靶材
纯度

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GBT 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
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GBT 39158-2020 平面显示用高纯铜旋转管靶
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GBT 39160-2020 薄膜太阳能电池用碲锌镉靶材
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