GBT 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

主要内容

标准 GBT 36053-2018 规定了通过X射线反射法测量薄膜厚度、密度和界面宽度的相关要求和技术规范。该标准涵盖了仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析以及结果报告等关键环节。

• 仪器要求： 明确了X射线设备的技术指标，包括光源稳定性、探测器灵敏度等。
• 准直和定位： 提供了样品放置和调整的具体步骤，确保测量的精确性。
• 数据采集： 描述了数据采集过程中的参数设置和操作方法。
• 数据分析： 详细说明了如何处理采集的数据以获得薄膜的厚度、密度和界面宽度。
• 报告： 规定了最终结果报告的内容和格式。

与老版本的变化

相比老版本，GBT 36053-2018 在以下几个方面进行了改进和优化：

• 仪器要求： 新增了对高精度探测器的要求，并提高了光源稳定性的标准。
• 准直和定位： 增加了更详细的校准流程，以减少人为误差。
• 数据采集： 引入了更高频率的数据采样技术，提升了测量的分辨率。
• 数据分析： 更新了算法模型，增强了对复杂界面结构的分析能力。
• 报告： 调整了报告模板，增加了不确定度评估部分，使结果更具可信度。