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资源简介
摘要：本文件规定了使用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中碳、氧含量的方法。本文件适用于硅单晶材料中碳、氧含量的定量分析。
Title：Determination of Carbon and Oxygen Content in Silicon Single Crystal - Low Temperature Fourier Transform Infrared Spectroscopy Method
中国标准分类号：J72
国际标准分类号：71.040.50 -
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