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资源简介
摘要：本文件规定了使用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的术语和定义、测量原理、仪器要求、样品制备、测量步骤、数据处理及测量结果的表示。本文件适用于玻璃衬底上纳米薄膜厚度的精确测量，以及其他类似材料表面形貌的分析。
Title：Measurement of thickness of nanofilms on glass substrates - Stylus profilometer method
中国标准分类号：J81
国际标准分类号：17.040.20 -
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拓展解读
GBT 33826-2017 主要内容
该标准规定了使用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的技术要求和操作方法。主要涉及仪器校准、样品准备、测量步骤以及数据处理等方面。
与老版本的变化
- 仪器校准: 新版本增加了对触针式轮廓仪的更高精度校准要求，确保测量结果的准确性。
- 样品准备: 对样品表面清洁度提出了更严格的要求，以减少外界因素对测量的影响。
- 测量步骤: 增加了多次测量取平均值的建议，提高数据可靠性。
- 数据处理: 引入了新的数据分析方法，能够更好地处理薄膜厚度不均匀的情况。
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