资源简介
摘要:本文件规定了非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性及其在表面结构测量中的应用要求和技术指标。本文件适用于使用非接触式点自动对焦探针进行表面结构测量的仪器开发、校准和验证。
Title:Product Geometrical Specification (GPS) - Surface Structure - Area Method - Part 605: Nominal Characteristics of Non-Contact (Point Autofocus Probe) Instruments
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:17.040.20
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拓展解读
该标准规定了基于非接触式点自动对焦探针仪器的标称特性,用于测量表面结构参数。这些仪器通过光学原理实现高精度的表面轮廓和粗糙度测量,适用于多种工业领域。
相比旧版标准,新版在以下几个方面进行了改进和更新:
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