资源简介
摘要:本文件规定了非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性及其在测量表面结构时的应用要求和技术条件。本文件适用于使用相干扫描干涉技术进行表面结构测量的仪器设计、校准和验证。
Title:Product Geometry Technical Specifications (GPS) - Surface Structure - Area Method - Part 604: Nominal Characteristics of Non-Contact (Coherent Scanning Interferometry) Instruments
中国标准分类号:J21
国际标准分类号:17.040.20
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拓展解读
在遵循标准核心原则的前提下,通过优化流程和降低资源消耗,可以为实际操作提供灵活性。以下是针对非接触式相干扫描干涉仪标定与应用的10项弹性方案。