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摘要:本文件规定了利用辉光放电发射光谱法对固体材料进行定量成分深度剖析的通用方法,包括样品制备、仪器校准、数据采集与处理等要求。本文件适用于金属、半导体、陶瓷等固体材料表面及薄膜层的成分深度分布分析。
Title:Surface chemical analysis - Glow discharge emission spectrometry for quantitative compositional depth profiling - General procedures
中国标准分类号:J80
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
该标准规定了使用辉光放电发射光谱法进行表面化学分析和定量成分深度剖析的一般程序。以下是主要内容:
相比旧版标准,新版的主要变化体现在以下几个方面: