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摘要:本文件规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的术语和定义、产品分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以蓝宝石单晶为原料,经加工制成的用于发光二极管(LED)外延生长及其他用途的蓝宝石单晶衬底抛光片。
Title:Specification for Sapphire Single Crystal Substrate Polished Wafers
中国标准分类号:H42
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
蓝宝石单晶衬底抛光片是一种在现代电子和光学领域中广泛应用的重要材料。它以高纯度、优异的物理和化学性能著称,是制造LED(发光二极管)、激光器以及半导体器件的关键基础材料之一。而《GBT 30858-2014》作为我国针对蓝宝石单晶衬底抛光片制定的技术标准,为这一领域的生产与应用提供了重要的技术指导。
《GBT 30858-2014》对蓝宝石单晶衬底抛光片的质量提出了严格的要求。首先,它明确规定了材料的晶体结构、尺寸公差、表面粗糙度以及光学特性等关键指标。例如,抛光片的表面粗糙度需控制在纳米级别,以确保其在高精度光学设备中的应用效果。此外,该标准还强调了材料的机械强度和热稳定性,这对于延长产品的使用寿命至关重要。
为了达到上述标准要求,蓝宝石单晶衬底的生产需要采用先进的制造工艺。其中,Czochralski法(简称CZ法)是最常用的生长方法,通过将高纯度氧化铝原料加热熔化后缓慢拉制形成单晶棒。随后,经过切割、研磨、抛光等一系列步骤,最终得到高质量的抛光片。
值得一提的是,近年来国内企业在这一领域取得了显著进展。例如,某知名光电企业通过自主研发,成功实现了蓝宝石单晶衬底的国产化生产,其产品质量已达到国际先进水平,部分指标甚至优于进口产品。这不仅降低了相关产业的成本,还推动了国内LED行业的快速发展。
蓝宝石单晶衬底抛光片的应用场景极为广泛。在LED行业中,它是制作芯片的重要基板材料;在光学领域,可用于制造滤光片、窗口片等高性能光学元件。随着5G通信、新能源汽车等新兴产业的兴起,对蓝宝石材料的需求将持续增长。
未来,随着技术的进步,蓝宝石单晶衬底有望向更大尺寸、更高性能的方向发展。同时,绿色环保的生产工艺也将成为行业发展的新趋势,助力实现可持续发展目标。