抛光片
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硅单晶
抛光片
半导体材料
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GBT 12964-2018 硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
半导体材料
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GBT 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
硅单晶
抛光片
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GBT 30656-2014 碳化硅单晶抛光片
碳化硅
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GBT 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
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微管密度
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SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法
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TZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
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抛光片
重掺磷
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TIAWBS 012-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法
碳化硅单晶
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表面质量
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TZZB 2332-2021 发光二极管用蓝宝石衬底抛光片
发光二极管
蓝宝石衬底
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TNXCL 017-2022 300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
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磷掺杂
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TNXCL 016-2022 200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片
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重掺锑
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TNXCL 29-2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片
硅单晶
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