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资源简介
摘要：本文件规定了声表面波(SAW)器件用单晶晶片的技术要求、测试方法和检验规则。本文件适用于声表面波器件中使用的单晶晶片的生产与检测。
Title：Specification and Measurement Method for Single Crystal Wafers Used in Surface Acoustic Wave (SAW) Devices
中国标准分类号：L74
国际标准分类号：31.120 -
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拓展解读
GBT 30118-2013主要内容
GBT 30118-2013《声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法》规定了用于制造声表面波器件的单晶材料的技术要求和测量方法。具体内容包括：
- 材料种类：定义了适用于SAW器件的主要单晶材料及其特性。
- 尺寸公差：详细说明了晶片的尺寸要求及允许偏差。
- 表面质量：对晶片表面光洁度、缺陷等提出了具体标准。
- 电学性能：规定了电阻率、介电常数等关键电学参数的测试方法及指标范围。
- 测量方法：提供了多种测量技术的标准化流程，确保结果的一致性和准确性。
与老版本的变化
相比旧版本，GBT 30118-2013在以下几个方面进行了改进和更新：
- 更严格的尺寸控制：新版提高了对晶片厚度和平面度的要求。
- 新增材料种类：增加了近年来开发的新材料，并对其特性进行了补充说明。
- 优化测量方法：引入了更先进的检测技术和设备，提升了测量精度。
- 增强环境友好性：强调了生产过程中减少污染的要求，符合环保趋势。
- 扩展应用领域：明确了更多应用场景下的适用条件，增强了标准的通用性。
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