GBT 30118-2013 声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法

GBT 30118-2013主要内容

GBT 30118-2013《声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法》规定了用于制造声表面波器件的单晶材料的技术要求和测量方法。具体内容包括：

• 材料种类：定义了适用于SAW器件的主要单晶材料及其特性。
• 尺寸公差：详细说明了晶片的尺寸要求及允许偏差。
• 表面质量：对晶片表面光洁度、缺陷等提出了具体标准。
• 电学性能：规定了电阻率、介电常数等关键电学参数的测试方法及指标范围。
• 测量方法：提供了多种测量技术的标准化流程，确保结果的一致性和准确性。

与老版本的变化

相比旧版本，GBT 30118-2013在以下几个方面进行了改进和更新：

• 更严格的尺寸控制：新版提高了对晶片厚度和平面度的要求。
• 新增材料种类：增加了近年来开发的新材料，并对其特性进行了补充说明。
• 优化测量方法：引入了更先进的检测技术和设备，提升了测量精度。
• 增强环境友好性：强调了生产过程中减少污染的要求，符合环保趋势。
• 扩展应用领域：明确了更多应用场景下的适用条件，增强了标准的通用性。