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摘要:本文件规定了用区熔拉晶法和光谱分析法对多晶硅棒进行评价的规程,包括样品制备、测试条件、数据分析及结果判定等内容。本文件适用于多晶硅棒的质量控制与性能评估。
Title:Specification for Evaluation of Polysilicon Rods by Zone Melting Crystal Pulling Method and Spectroscopic Analysis Method
中国标准分类号:H65
国际标准分类号:29.045
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拓展解读
该标准规定了用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程。主要内容包括:
相比老版本,新标准在以下几个方面进行了更新和改进: