资源简介
摘要:本文件规定了用区熔拉晶法和光谱分析法对多晶硅棒进行评价的规程,包括样品制备、测试条件、数据分析及结果判定等内容。本文件适用于多晶硅棒的质量控制与性能评估。
Title:Specification for Evaluation of Polysilicon Rods by Zone Melting Crystal Pulling Method and Spectroscopic Analysis Method
中国标准分类号:H65
国际标准分类号:29.045
封面预览
拓展解读
该标准规定了用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程。主要内容包括:
相比老版本,新标准在以下几个方面进行了更新和改进:
预览图若存在模糊、缺失、乱码、空白等现象,仅为图片呈现问题,不影响文档的下载及阅读体验。
当文档总页数显著少于常规篇幅时,建议审慎下载。
资源简介仅为单方陈述,其信息维度可能存在局限,供参考时需结合实际情况综合研判。
如遇下载中断、文件损坏或链接失效,可提交错误报告,客服将予以及时处理。