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摘要:本文件规定了按粒子浓度划分空气洁净度等级的方法和要求。本文件适用于洁净室及相关受控环境的设计、测试、运行和管理。
Title:Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by concentration of airborne particles
中国标准分类号:J82
国际标准分类号:13.040.30
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拓展解读
该标准规定了以粒子浓度划分空气洁净度等级的分类和要求,适用于洁净室及相关受控环境的设计、建造、运行和维护。