资源简介
摘要:本文件规定了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中III、V族杂质含量的方法。本文件适用于硅单晶材料中III、V族杂质含量的定量分析。
Title:Determination of III and V group impurities in silicon single crystal - Low temperature Fourier transform infrared spectroscopy method
中国标准分类号:J72
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
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