资源简介
摘要:本文件规定了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中III、V族杂质含量的方法。本文件适用于硅单晶材料中III、V族杂质含量的定量分析。
Title:Determination of III and V group impurities in silicon single crystal - Low temperature Fourier transform infrared spectroscopy method
中国标准分类号:J72
国际标准分类号:71.040.50
封面预览
拓展解读
在遵循GB/T 24581-2022标准的前提下,通过优化流程和资源利用,可以有效降低检测成本并提高效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案: