III族杂质
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GBT 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
硅单晶
III族杂质
V族杂质

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GBT 24581-2009 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法
硅单晶
III族杂质
V族杂质

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