资源简介
摘要:本文件规定了使用全反射X射线荧光光谱法测定硅片表面金属沾污的测试方法。本文件适用于硅片表面金属元素含量的定性和定量分析。
Title:Test Method for Total Reflection X-ray Fluorescence Spectroscopy of Metal Contamination on Silicon Wafer Surface
中国标准分类号:J74
国际标准分类号:25.160.30
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拓展解读
在遵循GB/T 24578-2009标准的前提下,通过灵活调整测试流程和资源分配,可以在保证测试结果准确性的基础上实现成本优化和效率提升。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。