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摘要:本文件规定了半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范。本文件适用于半导体设备的设计、制造、测试、维护及评估过程中的RAM性能分析与改进。
Title:Specification for definitions and measurements of reliability, availability and maintainability (RAM) for semiconductor equipment
中国标准分类号:M52
国际标准分类号:31.140
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拓展解读
在遵循GBT 24468-2009标准的前提下,通过灵活调整和优化流程,可以在保证设备可靠性和可用性的基础上实现成本控制。以下是10项具体方案: