半导体设备
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SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
装载
端口
晶圆
906浏览行业标准-电子L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求
标识
制造
半导体设备
930浏览行业标准-电子L95电子元器件与信息技术 - 电子工业生产设备 - 电子工业生产设备综合
半导体制造装置&CKD
半导体制造装置
CKD
集成电路
10浏览2025-07-19上传pdf1.3MMB共13页未评分
实施国家科技重大专项推进IC装备产业发展
国家科技重大专项
IC装备产业
半导体设备
13浏览2025-07-17上传pdf0.21MB共5页未评分
GBT5226.33-2017机械电气安全机械电气设备第33部分：半导体设备技术条件
机械
电气设备
电气
14浏览2025-07-15上传pdf7.72MB未评分
GBT 13539.4-2005 低压熔断器 第4部分;半导体设备保护用熔断体的补充要求
低压熔断器
半导体设备
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18浏览2025-06-09上传pdf0.73MB未评分
GBT 13539.4-2009 低压熔断器.第4部分：半导体设备保护用熔断体的补充要求
低压熔断器
半导体设备
保护用熔断体
17浏览2025-06-09上传pdf1.33MB未评分
GBT 13539.7-2005 低压熔断器 第4部分;半导体设备保护用熔断体的补充要求 第1至3篇：标准化熔断体示例
低压熔断器
半导体设备
保护用熔断体
21浏览2025-06-09上传pdf0.46MB未评分
GBT 15862-1995 离子注入机通用技术条件
离子注入机
通用技术条件
半导体设备
13浏览2025-06-09上传pdf0.61MB未评分
GBT 15862-2012 离子注入机通用规范
离子注入机
通用规范
半导体设备
18浏览2025-06-09上传pdf0.42MB未评分
GBT 15872-2013 半导体设备电源接口
半导体设备
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19浏览2025-06-09上传pdf0.34MB未评分
GBT 15872-1995 半导体设备电源接口
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电源接口
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20浏览2025-06-09上传pdf0.17MB未评分
SJT 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范
卧式液相外延系统
通用规范
半导体设备
17浏览2025-06-09上传pdf0.18MB未评分
SJT 11761-2020 200 mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
半导体设备
晶圆
装载端口
14浏览2025-06-09上传pdf2.71MB未评分
SJT 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求
半导体设备
制造信息
标识要求
18浏览2025-06-09上传pdf7.61MB未评分