资源简介
摘要:本文件规定了硅多晶中磷含量的气氛区熔检验方法,包括试验设备、试剂、操作步骤和结果计算。本文件适用于硅多晶材料中微量磷含量的测定。
Title:Inspection Method for Phosphorus in Polycrystalline Silicon by Atmosphere Zone Melting
中国标准分类号:H21
国际标准分类号:29.045
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拓展解读
在遵循GB 4059-1983《硅多晶气氛区熔磷检验方法》核心原则的前提下,可通过以下方式优化流程并降低成本: