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  • SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法

    SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
    微机扩散炉完好要求检查评定半导体设备工艺装备
    20 浏览2025-06-09 更新pdf0.08MB 未评分
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    摘要:本文件规定了SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉的完好要求及检查评定方法,包括设备的技术性能、外观质量、安全性能等方面的具体指标和检测手段。本文件适用于ASM型微机扩散炉的维护、检修、验收及运行管理。
    Title:Requirements and Inspection Evaluation Methods for ASM Microcomputer Diffusion Furnace (SJT 31132-1994)
    中国标准分类号:M51
    国际标准分类号:25.040.40

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    SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
  • 拓展解读

    主要内容总结

    SJT 31132-1994 ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法主要规定了ASM型微机扩散炉在技术状态、功能性能以及安全等方面的具体要求和检查评定方法。该标准适用于评估ASM型微机扩散炉是否达到完好状态。

    变化对比

    与老版本相比,SJT 31132-1994在以下几个方面进行了调整和优化:

    • 技术要求:增加了对微机控制系统稳定性的具体指标,提高了对设备精度的要求。
    • 检查项目:新增了对设备软件版本兼容性和数据记录功能的检查内容。
    • 评定方法:细化了评定流程,引入了定量评估方法,使评定结果更加客观准确。
    • 安全性:强化了对设备电气安全和操作安全的检查要求,增加了防漏电保护措施的检查内容。
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