SJT 31126-1994 YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法

主要内容总结

SJT 31126-1994 YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法主要规定了YL-1型金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备的完好标准以及相应的检查评定方法。以下是主要内容的概括：

• 设备完好要求：包括机械部分、电气系统、气路系统、真空系统等各组成部分的具体技术指标和性能要求。
• 检查评定方法：详细描述了如何对设备进行检查和评定的方法，包括检测工具、检测步骤及合格标准。
• 维护建议：提出了设备在日常使用中的维护要点，以确保设备长期处于良好状态。

与老版本的变化对比

相比老版本，SJT 31126-1994在以下几个方面进行了改进和更新：

• 更严格的性能指标：新版对机械精度、电气稳定性及气路密封性提出了更高的要求。
• 新增检查项目：
  • 增加了对设备软件系统的检查要求。
  • 引入了对环境适应性的评估。
• 优化评定流程：简化了一些复杂的评定步骤，并提供了更清晰的操作指南。
• 加强安全性：强化了对设备安全保护装置的检查要求，确保操作人员的安全。