资源简介
摘要:本文件规定了PET-5500型常压化学气相沉积(CVD)设备的完好要求及检查评定方法。本文件适用于PET-5500型常压CVD设备的维护、检查和性能评估。
Title:SJT 31125-1994 Specification for Completeness Requirements and Inspection Evaluation Methods of PET-5500 Atmospheric Pressure CVD
中国标准分类号:M78
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
SJT 31125-1994《PET-5500型常压CVD完好要求和检查评定方法》规定了PET-5500型常压化学气相沉积设备的完好状态要求及检查评定的具体方法。该标准适用于该型号设备的日常维护、定期检查以及故障排除时的技术参考。
相较于旧版本,新版SJT 31125-1994在以下几个方面进行了调整和优化: