SJT 31125-1994 PET-5500型常压CVD完好要求和检查评定方法

主要内容总结

SJT 31125-1994《PET-5500型常压CVD完好要求和检查评定方法》规定了PET-5500型常压化学气相沉积设备的完好状态要求及检查评定的具体方法。该标准适用于该型号设备的日常维护、定期检查以及故障排除时的技术参考。

• 完好要求：
  • 设备外观无明显损伤或变形。
  • 各部件连接牢固，无松动现象。
  • 关键功能模块运行正常，如温度控制、气体流量调节等。
  • 设备内部清洁，无残留物影响正常使用。
• 检查评定方法：
  • 通过目视检查确认设备外观完整性。
  • 利用专业工具检测各部件的工作参数是否符合标准值。
  • 记录并分析历史运行数据以评估设备性能稳定性。
  • 必要时进行拆解检查，确保核心组件处于良好状态。

与老版本的变化对比

相较于旧版本，新版SJT 31125-1994在以下几个方面进行了调整和优化：

• 新增内容：
  • 增加了对设备电磁兼容性的具体要求。
  • 明确了使用环境条件（如温湿度范围）对设备性能的影响。
• 改进部分：
  • 细化了某些检查项目的操作步骤，使其更具可操作性。
  • 更新了部分技术指标，使其更贴近实际应用需求。
• 删除内容：
  • 移除了部分过时的检测手段，避免冗余工作。