资源简介
摘要:本文件规定了DB-3型电子束曝光机的完好技术要求、检查内容和评定方法。本文件适用于DB-3型电子束曝光机的运行维护、故障诊断及性能评估。
Title:Requirements and Inspection Evaluation Methods for DB-3 Type Electron Beam Lithography Machine
中国标准分类号:M75
国际标准分类号:25.040.30
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拓展解读
为了在遵守“SJT 31113-1994 DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法”标准的前提下,提升工作效率并降低运营成本,以下从核心业务环节出发,提出10项弹性方案。