SJT 31116-1994 PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法

主要内容总结

SJT 31116-1994《PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法》主要规定了PLA-501F型光刻机在技术状态完好性方面的具体要求以及相应的检查评定方法。该标准适用于对PLA-501F型光刻机的技术状态进行检查、评定和验收。

• 完好要求：明确了光刻机的机械部分、电气系统、光学系统等各组成部分的具体完好标准。
• 检查评定方法：详细描述了如何通过目测、仪器检测等方式对光刻机的各项性能指标进行检查，并给出了评定合格与否的标准。

与老版本的变化对比

与老版本相比，SJT 31116-1994在以下几个方面进行了更新和完善：

• 新增内容：增加了对新型材料和新技术应用的相关要求，例如更严格的光学元件清洁标准及更高精度的机械部件公差要求。
• 改进检查方法：引入了更多现代化检测工具和技术手段，提高了检查效率和准确性。
• 强化安全规范：加强了操作人员安全防护措施的要求，在检查过程中特别强调了避免设备损坏和个人伤害的重要性。
• 优化评定流程：简化了一些复杂繁琐的操作步骤，同时细化了某些关键参数的评判细则，使得整个评定过程更加科学合理。