资源简介
摘要:本文件规定了AMV-1284型硅外延炉的完好要求及检查评定方法,包括设备性能、技术指标、安全运行和维护保养等方面的具体要求。本文件适用于AMV-1284型硅外延炉的使用、管理和维护工作。
Title:Requirements and Inspection Evaluation Methods for the Integrity of AMV-1284 Silicon Epitaxial Furnace (SJT 31110-1994)
中国标准分类号:M62
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循“SJT 31110-1994 AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法”核心原则的基础上,可以通过优化流程和资源利用来提升效率并降低成本。以下是10项可行的弹性方案。