SJT 31083-1994 DM-450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

主要内容总结

SJT 31083-1994 DM-450A真空镀膜设备完好要求和检查评定方法规定了DM-450A型真空镀膜设备的完好标准以及相应的检查和评定方法。该标准适用于设备的日常维护、定期检查及性能评估，以确保设备始终处于良好的工作状态。

• 设备完好要求：包括机械部件、电气系统、真空系统、冷却系统等多个方面的具体指标。
• 检查评定方法：详细描述了如何对设备进行检查和评定，包括目视检查、功能测试、参数测量等步骤。
• 维护建议：提供了设备在不同运行阶段的保养和维护指南。

与老版本的变化对比

相比旧版本，SJT 31083-1994在以下几个方面进行了更新和改进：

• 更严格的指标要求：新版本对某些关键部件的性能指标提出了更高的要求，例如真空度保持时间和泄漏率。
• 新增检查项目：增加了对新型传感器和控制系统的检查内容，以适应现代化设备的需求。
• 优化评定流程：简化了一些复杂的评定步骤，并引入了更加直观的评分体系。
• 强化安全规范：新增了关于设备操作安全性和紧急停机机制的具体要求。