SJT 31084-1994 电子束蒸发台完好要求和检查评定方法

主要内容总结

SJT 31084-1994《电子束蒸发台完好要求和检查评定方法》规定了电子束蒸发台在技术性能、结构完整性以及操作安全性方面的具体要求，并提供了详细的检查和评定方法。该标准适用于电子束蒸发设备的维护与检测。

• 技术性能要求：包括蒸发速率、真空度、束流稳定性等关键指标的具体数值范围。
• 结构完整性要求：对蒸发台的机械部件、电气系统及防护装置提出明确要求。
• 检查和评定方法：详细描述了如何通过目视检查、功能测试和性能测量来评估设备是否符合标准。

与老版本的变化对比

相比老版本，SJT 31084-1994在以下几个方面进行了更新和改进：

• 技术性能指标：提高了对蒸发速率和束流稳定性的要求，以适应更高精度的应用需求。
• 新增内容：增加了对环境保护和节能措施的要求，体现了环保意识的提升。
• 检查方法优化：引入了更先进的检测工具和技术，使检查过程更加高效和准确。
• 安全性增强：强化了对设备防护装置的规范，确保操作人员的安全。