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资源简介
摘要：本文件规定了电子束蒸发台的完好技术要求及检查评定方法。本文件适用于电子束蒸发台的维护、检修和性能评定。
Title：Requirements and Inspection Evaluation Methods for Electron Beam Evaporation Units
中国标准分类号：M61
国际标准分类号：25.080 -
封面预览
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拓展解读
主要内容总结
SJT 31084-1994《电子束蒸发台完好要求和检查评定方法》规定了电子束蒸发台在技术性能、结构完整性以及操作安全性方面的具体要求，并提供了详细的检查和评定方法。该标准适用于电子束蒸发设备的维护与检测。
- 技术性能要求：包括蒸发速率、真空度、束流稳定性等关键指标的具体数值范围。
- 结构完整性要求：对蒸发台的机械部件、电气系统及防护装置提出明确要求。
- 检查和评定方法：详细描述了如何通过目视检查、功能测试和性能测量来评估设备是否符合标准。
与老版本的变化对比
相比老版本，SJT 31084-1994在以下几个方面进行了更新和改进：
- 技术性能指标：提高了对蒸发速率和束流稳定性的要求，以适应更高精度的应用需求。
- 新增内容：增加了对环境保护和节能措施的要求，体现了环保意识的提升。
- 检查方法优化：引入了更先进的检测工具和技术，使检查过程更加高效和准确。
- 安全性增强：强化了对设备防护装置的规范，确保操作人员的安全。
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