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资源简介
摘要：本文件规定了电子工业用气体硅烷的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本文件适用于电子工业中作为化学气相沉积（CVD）源材料的硅烷气体，主要用于半导体、光电器件、太阳能电池等领域的薄膜制备。
Title：Electronic industry gases - Silane
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：71.080.99 -
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拓展解读
GBT 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
GBT 15909-2017 是关于电子工业用气体硅烷的标准，用于规范硅烷在电子工业中的应用和质量要求。
主要内容
- 范围：规定了硅烷的纯度、杂质含量以及检测方法，适用于电子工业中使用的高纯度硅烷。
- 术语和定义：明确了硅烷及相关参数的定义，如纯度、杂质等。
- 技术要求：
- 纯度要求：对硅烷的纯度提出了更高的标准。
- 杂质限制：详细列出了各种杂质的最大允许含量。
- 试验方法：描述了如何进行硅烷纯度和杂质含量的检测。
- 检验规则：包括取样、判定规则及标志、包装、运输和储存的要求。
与老版本的变化
- 提高了硅烷纯度的标准要求。
- 增加了某些关键杂质的检测项目和限制值。
- 优化了试验方法，使其更加精确和可靠。
- 更新了标志、包装、运输和储存的相关要求，以适应现代工业需求。
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