GBT 15909-2017 电子工业用气体 硅烷

GBT 15909-2017 电子工业用气体 硅烷

GBT 15909-2017 是关于电子工业用气体硅烷的标准，用于规范硅烷在电子工业中的应用和质量要求。

主要内容

• 范围：规定了硅烷的纯度、杂质含量以及检测方法，适用于电子工业中使用的高纯度硅烷。
• 术语和定义：明确了硅烷及相关参数的定义，如纯度、杂质等。
• 技术要求：
  • 纯度要求：对硅烷的纯度提出了更高的标准。
  • 杂质限制：详细列出了各种杂质的最大允许含量。
• 试验方法：描述了如何进行硅烷纯度和杂质含量的检测。
• 检验规则：包括取样、判定规则及标志、包装、运输和储存的要求。

与老版本的变化

• 提高了硅烷纯度的标准要求。
• 增加了某些关键杂质的检测项目和限制值。
• 优化了试验方法，使其更加精确和可靠。
• 更新了标志、包装、运输和储存的相关要求，以适应现代工业需求。