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资源简介
摘要：本文件规定了电子工业用气体硅烷(SiH4)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中用于制造半导体器件、集成电路、太阳能电池等的硅烷气体。
Title：Electronic industry gases - Silane (SiH4)
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：71.100.99 -
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拓展解读
GBT 15909-2009主要内容
GBT 15909-2009《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》规定了用于电子工业的硅烷气体的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等内容。
与老版本的变化
- 技术要求：增加了对高纯度硅烷气体中杂质含量的具体限制，提高了对产品纯度的要求。
- 试验方法：引入了更先进的检测技术和方法，确保测试结果更加准确可靠。
- 检验规则：细化了抽样和检验流程，明确了不合格品的处理方式。
- 标志、包装、运输和储存：更新了相关要求，强调了安全运输和储存的重要性。
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