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资源简介
摘要：本文件规定了晶片承载器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体器件制造过程中使用的晶片承载器。
Title：GBT 13840-1992 Wafer Carrier
中国标准分类号：M53
国际标准分类号：25.140 -
封面预览
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拓展解读
GBT 13840-1992 晶片承载器
主要内容
- 定义了晶片承载器的术语和定义。
- 规定了晶片承载器的技术要求，包括材料、尺寸、外观等。
- 详细描述了试验方法，用于验证承载器的各项性能指标。
- 明确了检验规则，包括抽样、判定及标志、包装、运输和贮存的要求。
对比与老版本的变化
- 在术语和定义部分，增加了对新材料和技术的说明。
- 技术要求中对尺寸公差进行了更严格的限定，并增加了环保材料的使用要求。
- 试验方法部分引入了新的测试技术和设备，以提高检测的准确性和可靠性。
- 检验规则中加强了对产品质量控制的环节，增加了可追溯性要求。
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