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    YST 937-2013 镍铂靶材
    镍铂靶材纯度尺寸性能测试方法
    17 浏览2025-06-10 更新pdf0.34MB 未评分
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    摘要:本文件规定了镍铂靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书。本文件适用于半导体、光电子器件制备中使用的镍铂靶材。
    Title:Nickel-Platinum Sputtering Targets
    中国标准分类号:H65
    国际标准分类号:77.120.99

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    YST 937-2013 镍铂靶材
  • 拓展解读

    镍铂靶材的研究与应用

    Nickel-Platinum (NiPt) 靶材因其优异的物理和化学性能,在现代工业中具有广泛的应用前景。根据中国国家标准 YST 937-2013 的规定,镍铂靶材在材料成分、制备工艺以及性能指标等方面都有明确的要求。本文将围绕这一标准,探讨镍铂靶材的技术特点及其在实际应用中的重要性。

    镍铂靶材的技术规范

    根据 YST 937-2013 标准,镍铂靶材的制备需要满足以下关键要求:

    • 成分控制:镍铂靶材的成分需严格控制,其中镍的含量通常在 50%-70% 之间,铂的含量则为 30%-50%。这种配比能够确保材料具备良好的导电性和耐腐蚀性。
    • 制备工艺:标准中强调了粉末冶金法和真空熔炼法作为主要制备方法。这两种工艺可以有效减少杂质含量并提高材料的致密度。
    • 性能指标:镍铂靶材的硬度、密度以及电阻率等性能指标必须达到特定范围,以适应不同的应用场景。

    镍铂靶材的应用领域

    镍铂靶材因其独特的性能,在多个领域得到了广泛应用:

    • 电子工业:镍铂靶材常用于制造薄膜电阻器和导电膜层,其高导电性和稳定性使其成为电子元件的理想材料。
    • 航空航天:由于其耐高温和抗腐蚀特性,镍铂靶材被广泛应用于航空发动机的关键部件。
    • 化工行业:镍铂靶材在化工设备中的应用,得益于其优异的耐腐蚀性能,能够在极端环境下保持稳定。

    结论

    镍铂靶材作为一种高性能材料,其技术规范和应用价值在 YST 937-2013 标准中得到了充分体现。通过严格的成分控制和先进的制备工艺,镍铂靶材能够满足多种工业需求。未来,随着新材料技术的发展,镍铂靶材有望在更多领域展现出更大的潜力。

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