资源简介
摘要:本文件规定了圆形石英玻璃光掩模基板的尺寸、外观质量、光学性能及检测方法等要求。本文件适用于半导体制造中使用的圆形石英玻璃光掩模基板。
Title:Specification for circular quartz glass photomask substrates
中国标准分类号:J53
国际标准分类号:21.040
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拓展解读
根据GBT 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范
的要求,结合实际操作中的灵活性和效率提升需求,以下是10项可行的弹性方案: