TDLSHXH 007-2020 电子工业用气体 氧硫化碳

摘要：本文件规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业中作为特殊工艺气体使用的氧硫化碳。
Title：Electronic Industry Gas - Carbonyl Sulfide
中国标准分类号：
国际标准分类号：

**TDLSHXH 007-2020《电子工业用气体 氧硫化碳》标准解读**

随着电子工业的快速发展，高纯度特种气体在半导体制造、液晶显示等领域的重要性日益凸显。氧硫化碳（COS）作为一种重要的电子工业用气体，其纯度和质量直接关系到产品的性能与可靠性。为了规范电子工业用氧硫化碳的质量要求，我国发布了TDLSHXH 007-2020《电子工业用气体 氧硫化碳》这一标准。

### 标准适用范围

该标准适用于电子工业中使用的氧硫化碳气体，包括但不限于半导体器件制造、平板显示器生产等过程中所需的高纯度气体。标准规定了氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等内容。

### 技术要求

1. **纯度**：标准对氧硫化碳的纯度提出了严格的要求，要求其纯度不低于99.999%（五九纯度），以确保在电子工业中的应用不会因为杂质影响产品质量。

2. **杂质含量**：明确规定了氧硫化碳中常见杂质如水分、二氧化碳、氧气等的限量值。例如，水分含量不得超过5ppm，二氧化碳含量不得超过1ppm，氧气含量不得超过2ppm。

3. **物理性质**：包括密度、熔点、沸点等物理参数的具体数值，以便用户正确使用和存储。

### 试验方法

标准详细描述了用于检测氧硫化碳各项指标的方法，如色谱分析法用于测定杂质含量，电化学传感器法用于检测水分含量等。这些方法的选择和实施保证了检测结果的准确性和可靠性。

### 检验规则

明确了产品出厂检验和型式检验的具体项目和频率。对于每一批次的产品，都需按照规定的项目进行出厂检验，合格后方可出厂。同时，定期进行型式检验以验证产品的长期稳定性和一致性。

### 标志、包装、运输和储存

为确保气体的安全运输和妥善储存，标准对容器标识、包装材料、运输方式及储存条件做出了明确规定。要求容器上应清晰标注气体名称、纯度等级、生产日期等信息，并建议采用专用气瓶或钢瓶进行包装，避免阳光直射和高温环境。

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