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摘要:本文件规定了电子级二乙基锌的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于电子工业用电子级二乙基锌。
Title:Electronic Grade Diethyl Zinc
中国标准分类号:C41
国际标准分类号:71.040.30
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拓展解读
TDLSHXH 003-2018 电子级二乙基锌标准解析
电子级二乙基锌作为一种关键的高纯度材料,在半导体制造领域具有不可替代的作用。本标准对这种材料的各项指标进行了严格规范,确保其在电子工业中的可靠应用。
首先在外观上,该标准要求产品为无色透明液体,这保证了其在使用过程中不会因杂质影响产品质量。对于纯度,规定了主含量不低于99.99%,这一高标准确保了其在精细化工领域的卓越性能。
水分含量是衡量电子级二乙基锌质量的重要指标,标准将其限定在不超过10ppm,这一数值远低于普通工业级产品,有效防止了水分带来的副反应。
此外,金属杂质含量也被严格控制,各项金属杂质均不得超过1ppb,这是保障半导体器件稳定性和可靠性的重要措施。
包装方面,标准推荐采用惰性气体保护的专用容器,并要求容器内壁经过特殊处理,以减少与材料的化学反应。
储存条件也得到了明确规定,需在低温、干燥且避光的环境中保存,避免外界因素对其品质造成影响。运输时应采取防震、防撞击措施,确保整个物流过程的安全性。
总之,TDLSHXH 003-2018 标准全面涵盖了电子级二乙基锌从生产到使用的各个环节,为相关企业提供了明确的技术指导,促进了整个行业的健康发展。