TJSSIA 0001-2024 光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法

在TJSSIA 0001-2024《光敏介质薄膜与互连金属界面结合力的评价方法》中，有一项重要的改动值得关注，即新增了界面结合力的分级评定标准。这一改动旨在更精确地反映不同应用场景下界面结合性能的需求。

以“3.2 界面结合力分级”为例，新标准明确了五个级别的结合力要求：从A级到E级，每个级别对应不同的结合强度范围。例如，A级表示最高级别的结合力，适用于高可靠性需求的场合；而E级则适合一般用途。这种分级方式为设计人员提供了明确的选择依据，有助于根据产品的具体需求选择合适的工艺和技术参数。

应用此条文时，首先需要确定目标产品的使用环境和功能要求，从而选定相应的结合力等级。接着，在实际操作过程中，应严格按照标准规定的测试方法进行样品制备、试验条件设定以及数据采集。比如，在进行拉伸试验时，要确保加载速率的一致性，并记录下断裂时的最大载荷值。最后，将测得的数据与标准提供的参考值对比，判断是否满足所选等级的要求。

通过这样的分级体系，不仅可以提高产品质量控制的有效性，还能促进相关技术的发展和创新，更好地服务于半导体行业不断增长的技术需求。