JCT597-2011 半导体用透明石英玻璃管

《JCT597-2011 半导体用透明石英玻璃管》是一项针对半导体行业使用的透明石英玻璃管的行业标准。该标准由中国国家标准化管理委员会发布，旨在规范半导体用石英玻璃管的产品质量、技术要求和检测方法，以满足半导体制造过程中对材料高纯度、高透明度和良好热稳定性的需求。

本标准适用于半导体工业中用于制造各种电子器件的透明石英玻璃管，如用于光刻、蚀刻、沉积等工艺过程的部件。标准内容涵盖了产品的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等方面。

在技术要求方面，标准规定了石英玻璃管的化学组成、物理性能、外观质量、尺寸偏差等关键指标。其中，化学组成要求石英玻璃具有极高的纯度，以避免杂质对半导体器件性能的影响。物理性能包括热膨胀系数、透光率、抗弯强度等，这些性能直接影响石英玻璃管在高温和光学环境下的使用效果。

试验方法部分详细说明了各项性能指标的测试方式，确保产品符合标准要求。检验规则则明确了出厂检验和型式检验的项目及条件，保障产品质量的稳定性与一致性。

此外，标准还对产品的标志、包装、运输和储存提出了具体要求，确保产品在流通过程中不受损坏，保持其优良性能。该标准的实施对于提升我国半导体材料的自主供应能力、推动半导体产业的发展具有重要意义。