-
资源简介
《GBT 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》是中国国家标准，规定了利用原子力显微镜（AFM）测量溅射薄膜表面粗糙度的原理、设备要求、测试步骤及数据处理方法。该标准适用于半导体、光学和电子等领域中薄膜材料的表面形貌分析，为科研和工业生产提供了统一的技术规范。通过该方法，可以准确获取薄膜表面的微观结构信息，评估其平整度和质量，对提高产品性能具有重要意义。
-
封面预览
-
下载说明
预览图若存在模糊、缺失、乱码、空白等现象，仅为图片呈现问题，不影响文档的下载及阅读体验。
当文档总页数显著少于常规篇幅时，建议审慎下载。
资源简介仅为单方陈述，其信息维度可能存在局限，供参考时需结合实际情况综合研判。
如遇下载中断、文件损坏或链接失效，可提交错误报告，客服将予以及时处理。