归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位： 有研亿金新材料股份有限公司、 中国计量科学研究院、 航天703所
起草人： 刘红宾、 尚再艳、 何金江、 王欣平、 熊晓东、 吕保国、 江轩、 朱晓光、 王永辉、 何双起、 杨平
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用
最后更新时间 2025-09-02