现行 YS/T 14-2015
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法 Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位: 南京国盛电子有限公司、 有研新材料股份有限公司、 上海晶盟硅材料有限公司

起草人: 马林宝、 杨帆、 葛华、 刘小青、 孙燕、 徐新华

标准简介

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度,测量范围为1μm~100μm

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最后更新时间 2025-09-02