YS/T 1745-2025 分子束外延(MBE)用高纯铝源
外延
分子
MBE

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DL/T 2310-2021 电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件
电力系统
碳化硅
外延

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SJ 21633-2021 碳化硅外延材料少子寿命的激光微波光电导衰减测试方法
少子
电导
碳化硅

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SJ 21629-2021 碳化硅(SiC)外延生长设备工艺验证方法
碳化硅
外延
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SJ 20514A-2018 微波功率晶体管用硅外延片规范
外延
晶体
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SJ 21536-2018 微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片规范
集成电路
外延
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SJ 21493-2018 碳化硅外延片表面缺陷测试方法
碳化硅
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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
堆垛
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YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法
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缺陷
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YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
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YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
外延
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YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
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