现行 YS/T 1060-2015
硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法 Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-有色金属
CCS分类： H17冶金 - 金属化学分析方法 - 半金属及半导体材料分析方法
ICS分类： 77.040.30金属材料试验 - 金属材料化学分析
研制信息

归口单位： 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位： 中锗科技有限公司、 江苏中能硅业科技发展有限公司、 昆明冶研新材料股份有限公司

起草人： 刘新军、 刘英杰、 郑华荣、 柯尊斌、 赵建为、 孔令群、 伍永胜、 张云晖、 杨红燕

标准简介

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%

相似标准/计划/法规
外延测定含量气相色谱法

最后更新时间 2025-09-02