现行 YS/T 24-2016
外延钉缺陷的检验方法 外延钉缺陷的检验方法 Test methods for spike of epitaxial layers
发布日期:2016-04-05
实施日期:2016-09-01
分类信息
研制信息

归口单位: 全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

起草单位: 南京国盛电子有限公司、 有研半导体材料有限公司、 上海晶盟硅材料有限公司

起草人: 马林宝、 杨帆、 孙燕、 徐新华

标准简介

本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度

相似标准/计划/法规
YS/T 15-2015
硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
2015-04-30
YS/T 23-2016
硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size
2016-04-05
GB/T 30654-2014
Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
Test method for lattice constant of III-nitride epitaxial layers
2014-12-31
GB/T 30653-2014
Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
Test method for crystal quality of III-nitride epitaxial layers
2014-12-31
GB/T 30655-2014
氮化物LED外延片内量子效率测试方法
Test methods for internal quantum efficiency of nitride LED epitaxial layers
2014-12-31
GB/T 14142-2017
硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique
2017-09-29
GB/T 14146-2021
硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method
2021-05-21
GB/T 42905-2023
碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
Test method for thickness of silicon carbide epitaxial layer—Infrared reflectance method
2023-08-06
GB/T 11068-2006
砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
Gallium arsenide epitaxial layer - determination of carrier concentration voltage-capacitance method
2006-07-18
GB/T 14141-2009
硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
2009-10-30
DIN 65474
Aerospace; fibre reinforced plastics; thermal-spike test method
航空航天纤维增强塑料;热峰试验法
1992-11-01
GB/T 14847-2010
重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
Test mothod for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance
2011-01-10
GB/T 27858-2011
化学品 沉积物-水系统中摇蚊毒性试验 加标于水法
Chemicals - Sediment-water chironomid toxicity test - Spiked water method
2011-12-30
GB/T 27859-2011
化学品 沉积物-水系统中摇蚊毒性试验 加标于沉积物法
Chemicals - Sediment-water chironomid toxicity test - Spiked sediment method
2011-12-30
GB/T 42902-2023
碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method
2023-08-06
YS/T 14-2015
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers
2015-04-30
ECA/EIA 339
RECOMMENDED TEST METHOD LAYER-TO-LAYER ADHESION OF MAGNETIC TAPE
磁带层间附着力的推荐试验方法
1974-12-01
ASTM F1575/F1575M-24
Standard Test Method for Determining Bending Yield Moment of Nails, Spikes, and Dowel-type Threaded Fasteners
钉子、销钉和销钉型螺纹紧固件弯曲屈服力矩测定的标准试验方法
2024-02-01
ASTM C1871-22
Standard Test Method for Determination of Uranium Isotopic Composition by the Double Spike Method Using a Thermal Ionization Mass Spectrometer
用热电离质谱仪用双峰法测定铀同位素组成的标准试验方法
2022-02-01
BS 12/30260505 DC
BS EN 16448-3. Protective clothing. Body armour. Knife and spike resistance. Requirements and test methods
英国标准EN 16448-3 防护服 防弹衣 刀刺抗性 要求和试验方法
2012-08-16
外延缺陷检验方法

最后更新时间 2025-09-02