现行 SJ 21261-2018
MEMS惯性器件结构设计要求 MEMS惯性器件结构设计要求 Structural design requirements for MEMS inertial device
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
ICS分类： 31.070电子学 - 敏感元件和传感器
研制信息

归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院

起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人： 徐淑静、 杨拥军、 杨志、 李丽霞、 任倩婷、 胥超、 卢新艳

标准简介

本标准规定了MEMS惯性器件敏感结构的设计要求。本标准适用于硅基MEMS电容式加速度计和振动式陀螺仪敏感结构的设计

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最后更新时间 2025-09-02