归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人： 冯楠、 杨拥军、 杨琳、 李倩、 李丽霞、 任倩婷、 卢新艳
本标准规定了MEMS惯性器件敏感芯片电参数在片测试的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要以及测试流程、测试准备、测试系统连接、参数测试等详细要求。本标准适用于MEMS惯性器件敏感芯片一(以下简称芯片
最后更新时间 2025-09-02