现行 SJ 21265-2018
MEMS陀螺仪参数标定工艺技术要求 MEMS陀螺仪参数标定工艺技术要求 Technical requirements for MEMS gyroscope calibration process
发布日期：2018-01-18
实施日期：2018-05-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
ICS分类： 31.070电子学 - 敏感元件和传感器
研制信息

归口单位： 工业和信息化部电子第四研究院

起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人： 王帆、 杨拥军、 李倩、 李博、 许鹏、 董晓亮、 王晓

标准简介

本标准规定了NIEMS陀螺仪制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求，以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。本标准适用于MEMS陀螺仪制造过程中的零偏、标度因数、零偏温度灵敏度和标度因数温度灵敏度的标定

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最后更新时间 2025-09-02