现行 SJ 20844A-2018
半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法
发布日期：
实施日期：2019-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料、                                                                       
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本标准规定了半绝缘砷化惊单晶微区电阴率、碳浓度、EL2浓度和PL谱等均匀性测量方法。本标准适用J二半绝缘砷化嫁单晶微区电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱等均匀性的测试

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最后更新时间 2025-09-02