现行 SJ 21534-2018
微波功率器件用氮化镓外延片规范 微波功率器件用氮化镓外延片规范
发布日期：
实施日期：2019-03-01
分类信息
发布单位或类别： 中国 行业标准-电子
CCS分类： H83冶金 - 半金属与半导体材料 - 化合物半导体材料
ICS分类： 29.045电气工程 - 半导体材料
标准简介

本规范规定了微波功率器件用氮化镓外延片(以下简称氮化镓外延片)的技术要求、质量保证规定、交货准备等内容。本规范适用于微波功率器件用氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)外延片，也适用于微波单片集成电路用GaN HEMT外延片

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最后更新时间 2025-09-02